蛋世界 行业动态 “神兽”光刻机之战,大胆猜测哪一家中国公司能够解光刻机之围?

“神兽”光刻机之战,大胆猜测哪一家中国公司能够解光刻机之围?

    光刻机集人类智慧于大成,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西…

    光刻机集人类智慧于大成,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方国家,德国的镜头、美国的光栅、瑞典的轴承、法国的阀件等等,最麻烦的这些顶级的零件对我国是禁运的。可以说我国的光刻机与荷兰ASML光刻机的差距,客观上反映了我国与西方在精密制造领域的差距。

    我国的光刻机    我国的光刻机起步较晚,同时还遭遇了西方国家的技术封锁,所以目前制造出来的光刻机主要集中于65nm及其以下的工艺。

    目前,我国生产光刻机的企业是上海微电子,成立于2002年,可以量产制程工艺为65nm的光刻机,距离ASML的7nm EUV光刻机还有很远的距离,而且光刻机技术无法实现跳跃。

    上海微电子也是一家系统集成商,自己并不生产关键零部件,做不出高端光刻机也不是它的责任。现在也只能做好中低端光刻机,慢慢培养国内的零部件商,一点一点往上做。

    荷兰AMSL光刻机    目前,光刻机的老大是荷兰的ASML,垄断了高达80%的市场份额,最先进的EUV光刻机全球也只有ASML能够生产。

    AMSL光刻机90%的零部件向外采购,整个设备的不同部位同时获得了世界商最先进的技术,德国的光学设备、美国的计量设备和光源,ASML要做的是精密控制。7nm EUV光刻机有13个系统,3万个分件,每个动作都要精细,将误差分散到这13个系统中。

    荷兰的AMSL还有一个独特的合作模式,只有投资了ASML才能获得优先供货权,而台积电、三星、海力士、英特尔都是ASML的股东,大半个半导体行业都是ASML的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体。

    中芯国际    我国的中芯国际,已经突破了N+1工艺制程,性能接近7nm,高端光刻机仍然来自于荷兰的ASML。

    早在2018年,中芯国际就从ASML成功预定了一台7nm EUV光刻机,但是先是因为失火推迟发货,后是因为美国方面的阻挠,2020年了,仍然没有收到这台7nm EUV光刻机。

    总之,高端光刻机集人类智慧与大成,单靠任何一家企业是无法完成的。由于很多原因,很多精密仪器、高精尖的设备对我国是禁运的,只有慢慢培养国内零部件厂商,一点一点往上走。

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